1、光刻机（Mask Aligner) 又名：掩模对准曝光机 ， 曝光系统 ， 光刻系统等 ， 是制造芯片的核心装备 。它采用类似照片冲印的技术 ， 把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上 。
【光刻机是什么意思】2、生产集成电路的简要步骤：利用模版去除晶圆表面的保护膜 。将晶圆浸泡在腐化剂中 ， 失去保护膜的部分被腐蚀掉后形成电路 。用纯水洗净残留在晶圆表面的杂质 。
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