微机电系统工程专业大学排名，微机电系统概念 _经验分享

mems是什么意思mems是微机电系统的意思。
MEMS全称是MicroElectromechanicalSystem，mechanicalSystem，微机电系统。
大小不超过几毫米的高科技设备，其内部结构一般是微米或纳米规模的独立智能系统，由传感器、执行器和微能量的三个主要部分。
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